英福康INFICON氦質譜檢漏儀質譜室故障及處理
1、燈絲無法正常啟動，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態后，若燈絲仍無法發射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導通，消除短路現象。
2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態且大小遠遠超過氦質譜檢漏儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質譜室出現故障一般用戶無法解決，只需對故障進行定位，交由維修ZX處理。
氦質譜檢漏儀檢測開始時出現的故障
1、檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)
檢查燈絲是否啟動。如果燈絲沒有啟動或者燈絲斷，按檢漏鍵將沒有反應。
2、檢漏鍵無效(指示燈不亮)
I/O短接插頭未插入氦質譜檢漏儀故障后面插座。如果I/O短接插頭未插入儀器后面插座，這時氦質譜檢漏儀將接受I/O口輸入信號，而不接受遙控器信號，檢漏鍵無效。
氦質譜檢漏儀自動校準結束時出現的故障
自動校準失敗(燈絲亮)紅色校準燈亮。首先檢查自動校準設置，開關S1是否處于OFF位置，所設置的漏率值和標準漏孔值是否一致。溫度傳感器是否接上;其次是檢查靈敏度，清洗質譜室(如果用外部校準漏孔檢查顯示值和實際值一致，氦質譜檢漏儀也可使用)。
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