德國普發真空氦質譜檢漏儀ASM 340分子泵故障燈亮檢修
1、儀器界面上TMP顯示“0”即分子泵沒有工作
有可能是前級壓力過高(該分子泵的啟動壓力為200Pa)導致分子泵無法啟動。檢查導致壓力過高的項目有：真空規管是否有問題，分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟或機械泵是否轉動，系統是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉子被損害，可自行用工具撥動葉片，判斷其能否轉動。
2、分子泵加速指示燈不亮
電路板上的保險絲燒斷，更換保險絲或檢查是否有短路現象。
3、分子泵故障燈亮
檢查電路板設置開關是否處于R位置，此時應該在N位置。檢查風扇是否停止，如風扇正常，則可能為氦質譜檢漏儀分子泵電源故障。
4、檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)
檢查燈絲是否啟動。如果燈絲沒有啟動或者燈絲斷，按檢漏鍵將沒有反應。
5、檢漏鍵無效(指示燈不亮)
I/O短接插頭未插入氦質譜檢漏儀故障后面插座。如果I/O短接插頭未插入儀器后面插座，這時氦質譜檢漏儀將接受I/O口輸入信號，而不接受遙控器信號，檢漏鍵無效。
氦質譜檢漏儀自動校準結束時出現的故障
自動校準失敗(燈絲亮)紅色校準燈亮。首先檢查自動校準設置，開關S1是否處于OFF位置，所設置的漏率值和標準漏孔值是否一致。溫度傳感器是否接上;其次是檢查靈敏度，清洗質譜室(如果用外部校準漏孔檢查顯示值和實際值一致，氦質譜檢漏儀也可使用)。
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