激光干涉儀常見四種故障原因排查與檢修
1、干涉環不圓正
原因:
(1)分光板膜層面反向。
(2)兩組出射光瞳錯位。
(3)分光板、補償板、移動鏡及參考鏡有壓應力。
檢修方法:分光板膜層應是入射光的第二面，如裝在第一面，則調出的等傾干圓涉環是直的橢圓形干涉環，可旋松分光板的三只寬頭螺釘，取出分光板，反過180°重新裝入金屬框內，把三只寬頭螺釘旋到原來的壓緊力。分光板調整請參考故障檢修方法。分光板，補償板的寬頭螺釘，移動鏡及參考鏡的調節滾花螺釘壓緊 力過大，使各鏡片逐步變形產生等傾干涉圓環不規則，適當放松過緊的 螺釘即可消除。
2、讀數空位大于 0.03mm
原因:
(1)傳動螺母和絲桿的配合間隙大。
(2)拖板體下面的頂塊間隙偏大。
(3)檔板與導軌配合過松。
檢修方法:可先調整頂塊間隙，拖板體在工作狀態下旋松頂塊螺釘，左手大拇 指將拖板體向讀數頭方向輕推，中指壓緊頂塊，然后固緊頂塊螺釘。如果仍未達到要求，調整檔板與導軌的間隙達 0.02mm，再調節傳動螺母上 的兩只螺釘(老產品有四只)。
3、 轉動粗動手輪時拖板不走。
原因:
(1)儀器受強烈沖擊后，絲桿向尾架方向脫出，造成讀數頭嚙合齒輪錯位。
(2) 傳動小齒輪固緊螺母松動， 造成傳動小齒輪與絲桿打滑。
(3)大齒輪及粗動手輪的壓緊螺母松動。
檢修方法:首先檢查粗動手輪壓緊螺母，然后檢查精密絲桿是否向尾架方向脫出，如已脫出，可松動尾架三只螺釘，一面將絲桿推向讀數頭，一面慢慢轉動粗動手輪，最后旋緊尾架三只螺釘，如果是小齒輪固緊螺母和大齒輪固緊螺母松動，先拆去傳動盒蓋，再拆下門字架，固緊螺母，重新依次裝配即可。
4、轉動微動手輪時拖板不走。
原因:
(1)傳動小齒輪壓緊螺母松，使盆形彈簧片無壓緊力，造成 蝸輪空轉。
(2)粗微動有脫開機構的干涉儀，蝸桿壓緊彈簧片失靈。
(3)微動手輪壓緊螺母松。
檢修方法:先檢查微動手輪的壓緊螺母。然后打開傳動盒蓋，取下門字架，旋緊傳動小齒輪壓緊螺母，使盆形彈簧片壓緊蝸輪，此時轉動蝸輪應帶動精密絲桿，依次裝好拆下的另件。 如果是脫開機構，應檢查蝸桿拖板是否已被壓死。如被壓死，可拆 下左右壓塊，清洗、上油(7101 油脂)重新裝配即可，如蝸桿拖板較松，說明蝸桿拖板的彈簧壓力減小，(1)可拆下彈簧改小 R 增加彈性。(2)調換彈簧片。
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